測量范圍：X 軸、Y 軸、Z 軸分別為 120mm、120mm、80mm。

分辨力：0.02μm。

精度指標：按 JIS B 7440-2 標準，其最大允許長度測量誤差 MPEE 為，19 至 21℃時，(2.4+5.7L/1000)μm；15 至 25℃時，(2.7+6.4L/1000)μm；10 至 30℃時，(3.1+7.2L/1000)μm；10 至 35℃時，(3.4+7.9L/1000)μm，其中 L 表示測量長度，單位為 mm。

驅動速度：各軸驅動速度為 8 至 200mm/s，最大合成驅動速度達 340mm/s；測量速度為 1 至 15mm/s。

驅動加速度：各軸最大 3900mm/s2，最大合成加速度是 6750mm/s2。

導向與驅動方式：導向采用直動式硬軸承，無需氣源，具備免維護優勢。驅動依靠 DC 電機與滾珠絲杠，并借助速度或位置反饋確保精準定位。

控制器：配備 UC400K 控制器，支持 SMS（Smart Measuring System）智能測量系統，能監測設備狀態，利于實現智能工廠的設備集中管理。

測頭適配情況：可依據測量需求裝配接觸觸發式測頭 MTP-001 或掃描測頭 MPP-001 等 MACH Ko-ga-me 系列的專用測頭，抗噪性能更優，能完成單特征快速檢測或連續掃描測量。