技術支持目錄
最新資訊
一、核心設計與性能
高潔凈度與耐腐蝕
主體材質:不銹鋼(SUS304 或 SUS316 可選),表面經電解研磨處理,抗腐蝕能力強,適合半導體潔凈環境(摘要 1、5)。
密封材質:氟橡膠(FKM)、丁腈橡膠(NBR)等可選,耐溫范圍 -20℃~+180℃,兼容多種流體(摘要 1、2)。
防泄漏與低污染
雙閥門結構:套筒與插塞均帶自動開閉閥,分離時自動切斷流體,減少泄漏和污染(隱含于同系列設計)。
無塵室組裝:所有部件洗凈后在無塵室內完成安裝、檢查和包裝,符合半導體行業潔凈要求(摘要 1)。
高流量與壓力兼容性
流量提升:相比傳統 SP 型,流量增長 7%-64%,支持中壓(5.0MPa)和高壓(30MPa)場景(摘要 2、5)。
真空適用性:部分型號(如 SP-V 型)可承受真空度達 1.3×10?1 Pa,適用于惰性氣體或冷媒傳輸(摘要 7)。